8月23日讯，针对近期部分媒体关于“三星电子7nm EUV良率”的相关报道，三星官方微博发布声明称，内容与事实完全不符。这是继高通回应“三星导致高通5G芯片全部报废”之后，中国三星做出的正式回应。
声明表示，三星Foundry于今年4月在业内首推以EUV技术为基础的量产产品，并向客户供货，目前已达成高技术成熟度以及高良品率，三星电子的最尖端EUV技术，历经长时间的研发并拥有成功量产的经验，目前已达成高技术成熟度以及高良品率，ELUV 先进制程的良率爬坡速度也比之前的制程更快。以EUV技术为基础的5G产品计划在今年第四季度开始量产。